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德国普旭R5/RA真空泵系统流程

1.空气流程

1)空气由进气滤清器滤去尘埃之后，经由吸气阀进入真空泵泵体;与润滑油混合，与油混合的空气经过压缩后通过排气阀进入油分离器进行粗分离，再经排气过滤器的精分离，

不含油的空气通过排气嘴排入大气。如空气中含有可凝气体，则打开气镇阀。

2)空气流程中各组件功能说明:

A、进气滤清器

空气滤清器为干式纸质过滤器，过滤纸细孔度约为10μ左右，通常每1000小时应取下清理表面的尘埃，清理的方法是使用低压空气将尘埃由内向外吹除。

B、吸气阀

避免关闭电源后，叶片逆向旋转。

注意:吸气阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用，吸气阀不能防止油被吸入真空系统。

C、排气过滤器

排气过滤器的更换步骤

1，真空泵停机后，确认系统已无压力。

3.拆下排气盖上的固定螺栓。取下排气盖。

4、拆下顶片总成。

5.取下排气过滤器，换上新排气过滤器。

6.按拆开的反顺序将顶片总成、排气盖装好。

注意:更换排气过滤器时，尽量同时更换油过滤器和润滑油。

D、气镇阀

真空泵配有气镇阀，少量空气通过气镇阀进入真空泵腔内，连同工艺气体一起被压缩，这样，可防止真空泵腔内工艺气体中可凝气体成分的凝结。

气镇阀配有节流阀可部分或全部关闭。在操作之前真空泵应该关闭进气口运转30分钟，以达到75C的工作温度。只有在这个工作温度下才能有效地抽除可凝性气体。使用结束后，应该再运转30分钟使泵油中的冷凝

物蒸发出去。

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