什么是分子泵
分子真空泵（简称分子泵）是1913年是德国人盖得（W.Gaede）首先发明的。他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。虽然分子泵是一种机械泵,但它已经摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理，而是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的一种新型机械真空泵。通常把高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象成为分子牵引，或称为气体的外摩擦输运现象。因此，人们把盖得发明的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有启动时间短，抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但由于它的密封间隙小，容易引起机械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外，实际上很少应用，曾有些人做过不少改进，出现过几种不同类型的牵引分子泵，但因为抽速低没有推广应用，曾一度被结构简单的扩散泵所代替。
德国人贝克（W.Becker）1956年发明了一种适于超高真空下工作的涡轮分子泵。这种泵和牵引分子泵相比，在结构和原理方面并不完全相同。涡轮分子泵是以高速旋动的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵的极限压力可以达到10-9帕以下，对油蒸汽等高分子量气体的压缩比很高，几乎能达到测不出的程度。因而残余气体中油蒸汽的分压力很低。由于轴承用的润滑油仅在泵的出口侧存在，故泵在运转过程中入口处检查不出油的痕迹。因此，涡轮分子泵可以获得清洁无油的超高真空。这种泵如果长期不用，轴承处的油蒸汽会扩散到泵的入口侧，降低泵所能达到的清洁程度。为了消除油蒸汽的污染，在工作时，须对泵的入口进行烘烤除气，烘烤温度要严格控制，过高会使叶片变形。有的在停泵时，用压力为13hPa的干燥气体充入泵内，以消除油蒸汽返流造成的污染。
