单晶炉、多晶炉配用真空泵以2H-120滑阀真空泵、2H-100滑阀真空泵,居多。其中清理单晶炉仍然使用水环真空泵2SK-6A型号。多晶硅炉配套真空泵可根据用户情况定制各类真空机组。
一、 2H-100滑阀真空泵
主要性能参数：
极限真空：6X10-2
抽气速率：100L/S
进气口径：80mm 排气口径：80mm
电机功率：7.5KW
二、 2H-120滑阀真空泵
主要性能参数：
极限真空：6X10-2
抽气速率：120L/S
进气口径：100mm 排气口径：80mm
电机功率：11KW
三、 2SK-6A水环真空泵
主要性能参数：
极限真空：3300Pa
抽气速率：6m3/min
进气口径：50mm 排气口径：50mm
配用功率：11KW
